
| ಗ್ರೇಟಿಂಗ್ ಪಿಚ್ | ೨೦um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ | ೧೦.೬ x ೧೦ -೬ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ | ±1 ಹೆಚ್ಚಳ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಗರಿಷ್ಠ ವೇಗ ಮೀ/ನಿಮಿಷ | 60(5μm) ; 20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಔಟ್ಪುಟ್ ಪ್ರಕಾರ | ಟಿಟಿಎಲ್ / ಇಐಎ422ಎ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಗರಿಷ್ಠ ವೇಗವರ್ಧನೆ | 20ಮೀ/ಚ.² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ರಕ್ಷಣೆ | ಐಪಿ 54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು | 60mA ಗರಿಷ್ಠ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಹಂತದ ಸ್ಥಳಾಂತರ | 90°±5° ವಿದ್ಯುತ್ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತಾಪಮಾನ | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಶೇಖರಣಾ ತಾಪಮಾನ | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| ಆರ್ದ್ರತೆ | 100% ಸಂಕ್ಷೇಪಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ |